OHT 空中搬送系统

设备说明

OHT(空中走行式搬运车)是指能够在空中轨道上行驶，并能够通过皮带传动起重机构“直接”进入保管设备或工艺设备的装卸口，应用于工序区内部运输，主要搬运晶圆，也应用于工序区间或工厂间运输。

设备特点

设备参数

产品范围	FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette
额定负载	Max20Kg
运行速度	直线段 3.5m/sec, 转弯段 0.7m/sec
提升速度	0.9m/sec
转弯半径	R500mm (45˚, 90 ˚)
洁净环境	Class 100 - Class 1000